塗層產品在各個領域都有廣泛應用，是常用的固態薄（báo）膜，可（kě）以作為防護、絕緣以（yǐ）及裝修等用處，其製備方法（fǎ）主要是選用物理堆積技能或（huò）化學堆積技能將金屬或非金屬化合物塗鍍於基體材料上，構成鍍層。不過，塗層製造會產生內部應（yīng）力，影響塗層運用，導致失效（xiào）。因（yīn）此，要采取相應措施（shī）消除或削弱塗層結構（gòu）內（nèi）部的應力，避免應力引起的各種（zhǒng）失效。

一、挑選合適（shì）基體

要消除塗層中的熱（rè）應力，根本方法就是選用熱膨（péng）脹係數相同的塗層和基體材（cái）料。其次是讓成膜溫度與塗層的測量（liàng）溫度或運用溫度相（xiàng）同。此外，熱應力作為薄膜應力的一部分，受溫度的影響而易於操控，這樣通過熱應力的改動與本征應力互相作用（yòng），調整薄膜的微觀應力，或許起到改（gǎi）進應力的作用（yòng）。

二、做熱（rè）退（tuì）火處理（lǐ）

塗層中存在的各（gè）種缺（quē）陷是（shì）產生本征應力的主要原因。這些缺陷一般都對錯平衡缺陷，故有自行消失的傾向。但是，要產生消失，需求外界處以活化能。在對（duì）塗（tú）層（céng）進行熱處理時，外界處以熱能，非平衡缺陷許多消（xiāo）失，因此塗層內（nèi）應力明顯下（xià）降。

三、添加中心塗層

在塗（tú）鍍多層（céng）高（gāo）反、增透或其它介質膜的過程中，膜料應（yīng）力性質相同，這樣就會增大整個膜層的應力，導致塗層決裂或掉落。使用應變相消的原理，在膜層與膜層之（zhī）間再堆積一層薄膜，操控工藝使（shǐ）膜（mó）內出現與結構塗層相反的應力狀態，來緩解應力帶（dài）來的損壞作用。

別的，當基（jī）體和塗層的材料性質不同過大時，即（jí）界麵性質不一（yī）致（zhì），其互相作（zuò）用就大，這種作用力有使兩種材料結構類似的作用趨勢，因此塗層內產生很大的變形，構成內應力。這種狀（zhuàng）況可先對基體進行表麵處理，即添加（jiā）亞層，增（zēng）大表麵的（de）濕潤性，對塗層和基體的結（jié）構起到過渡作（zuò）用，保持結構的連（lián）續性，然後減小應力。

　四、改動工藝參數

堆積（jī）過程中工藝參數的改動會直接影響（xiǎng）薄膜中（zhōng）的剩下應力水平，通過調整鍍膜時的基底（dǐ）溫度、作業氣壓、堆積速率等工藝參數可以操控（kòng）薄膜中應力的大小，甚至會改動應（yīng）力的（de）性質。

例如（rú），對於濺射（shè）鍍膜，跟著反應腔（qiāng）內濺（jiàn）射氣壓的增（zēng）大，高（gāo）能離子(粒子)的濃度增大，使得氣體分子安閑程減小，存在嚴峻互相碰撞的散射現象，然後減小了氣體分子的能量，原子噴丸效應削弱，增大了堆積粒子流的（de）傾斜分量，致使膜結構疏鬆，壓應（yīng）力越來越小，變為張（zhāng）應力，張應力先增大再減小。

五、改進堆積技能

在磁控濺（jiàn）射堆積塗層過程中，跟著射頻源功率（lǜ）的改動，堆（duī）積原子的動能也產生改動，界麵分散層結構和（hé）膜層（céng）結（jié）構的缺陷濃度也隨之改動。因此，塗層內的剩下應力就會產生改動（dòng）。