納隆類金剛石碳基塗層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的(de)摩擦係數等優異性能,被廣泛用作保護塗(tú)層(céng)。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元(yuán)素不僅可以進一 步提高塗層(céng)的性質,而且還可以通過控製 Si 的摻入(rù) 量,沉積低應力的多層結構(gòu)。這種多層結構不但可 以沉積厚膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐蝕性能。
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