物理氣相沉積(PVD) 是一種(zhǒng)薄膜製備技術(shù),可在真(zhēn)空條件下將材料源(固(gù)體或液體)表麵物理汽(qì)化成氣態原子、分子或部分電離成離子。然後,通過低壓氣(qì)體(或等離子體)在基板表(biǎo)麵沉積具有特定功能的膜。物理氣相沉積的主要(yào)方法有真空蒸鍍、濺射沉積、電(diàn)弧等(děng)離子鍍、離子鍍等。PVD薄膜沉積速度快、附著(zhe)力強、衍射性能好、應用範圍廣。
DLC主(zhǔ)要采用PVD或PACVD工(gōng)藝,在100℃~300℃的溫度下合(hé)成,具(jù)有(yǒu)良好的耐磨性、潤滑性,且具有電氣絕緣、化學穩(wěn)定性和光透性。鍍膜可覆蓋鐵或非(fēi)鐵金屬及塑料、陶瓷(cí)。主要碳素塗層根據氫含量和原子間的(de)結(jié)合構造分為DLC(a-C:H)、ta-C和Diamond塗層。
那麽PVD塗層(céng)與DLC塗層有(yǒu)哪些區別呢?今天納隆小編就從(cóng)三個維度為大家分析。
2. 塗層硬度不同:PVD塗層硬度大多(duō)在1000-4000HV之間,DLC塗層硬度一般為2000HV-9000HV以上,具有更好的耐(nài)磨(mó)性、抗腐蝕性和潤滑性。
3.膜層的特性有所不同,PVD鍍膜後的膜層(céng),具有耐磨損,耐腐蝕,顏色亮麗多樣,導(dǎo)電、絕緣等特性,DCL(膜(mó)層和PVD鍍膜相比,DLC膜層的硬度更高,摩擦係數更低,更耐腐蝕,環保且抗粘附性更好。
4.用途有(yǒu)所不同,PVD鍍膜廣泛應用於數碼產品、飾品、手表(biǎo)、智能穿戴產品、醫療器械(xiè)、半導體、消費類電子產品等領域,而(ér)DLC廣泛應用於機(jī)械功能領域,比如鑽頭、銑刀、模具及其輔助模具、剪刀、軸承、等領域。
5.塗層製備方法不同(tóng),PVD鍍: PVD鍍的方法有,真空蒸鍍、濺射鍍膜、電弧等離子體鍍、離子鍍膜,及分(fèn)子束外延等,DLC: DLC的方法有真空蒸發、濺射、等離子體輔助化學氣相沉積、離子注入等。
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