納隆類金剛石碳基塗層因其高的(de)抗腐蝕性、化學(xué)惰性、抗(kàng)磨 損性和低的摩(mó)擦係(xì)數等優異性能,被廣泛用作保護(hù)塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不(bú)僅可以進一 步提高塗層的性質(zhì),而且還可以通過控製 Si 的摻入 量,沉積低應力的多層(céng)結構。這種多層結構(gòu)不但可 以沉積厚膜(mó),而且還能延(yán)長(zhǎng)腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗(kàng)腐蝕性能。
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