納隆類金剛石碳基塗層因其高的抗腐蝕性、化學(xué)惰性、抗磨 損性和低的摩擦係(xì)數等優異性能(néng),被廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅可以進一 步提高塗層的性質,而且還可以通過控(kòng)製 Si 的摻入(rù) 量,沉積低應力的多層結構。這種多層結構不但可 以(yǐ)沉積厚膜,而且還能(néng)延長腐蝕離子的(de)擴散路(lù)徑,以增強其抗腐蝕(shí)性能。
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