納隆類金剛(gāng)石(shí)碳(tàn)基塗層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗(kàng)磨 損性和低的摩擦係(xì)數等優異性能(néng),被廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻(chān)雜 Si 元素不僅可以進一 步提高塗層的性質,而且還可以通過控製 Si 的(de)摻入 量,沉積低應力的多層結構。這種(zhǒng)多層(céng)結構不但可 以沉積厚(hòu)膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗(kàng)腐蝕性能。
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