納隆類金剛石碳基塗層(céng)因其高的抗腐蝕性、化學惰(duò)性、抗磨 損性和低的摩擦係(xì)數等優異性能,被廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中(zhōng)摻雜 Si 元素不(bú)僅可以進一 步提高塗層的性質(zhì),而且還可以通過控製 Si 的摻入 量,沉積低應力的多層結(jié)構。這種多層結構不但可(kě) 以沉積厚膜(mó),而(ér)且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐蝕性能。
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