納隆類金(jīn)剛(gāng)石碳基塗層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨(mó) 損性(xìng)和低的摩擦係(xì)數等優異性能,被(bèi)廣泛用作保護塗層。通(tōng)過向 DLC 塗層(céng)中(zhōng)摻雜 Si 元(yuán)素不僅可以進一 步提高塗層的性質(zhì),而且還可以通過控製 Si 的摻入(rù) 量,沉積低應力的多層結構。這(zhè)種多(duō)層結構不但可 以沉積厚膜,而且還能延(yán)長(zhǎng)腐(fǔ)蝕離子(zǐ)的(de)擴散路徑,以增(zēng)強其(qí)抗腐蝕性能。