納隆類金(jīn)剛石碳基塗層因(yīn)其高的抗腐(fǔ)蝕性、化學惰性(xìng)、抗磨 損(sǔn)性和低的摩擦係數等優異性(xìng)能,被廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元(yuán)素不僅可以進一(yī) 步提高塗層的性質,而且還可以通過控製 Si 的摻入 量,沉積低應(yīng)力的多層(céng)結構。這種(zhǒng)多層結構不但可 以沉積(jī)厚膜,而(ér)且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐蝕性(xìng)能。
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