納隆類金剛石碳基塗(tú)層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和(hé)低的摩(mó)擦係數等優異(yì)性能,被廣泛用作(zuò)保護塗層(céng)。通過向 DLC 塗層中(zhōng)摻雜(zá) Si 元素不僅可以進一 步提高塗層的性質,而且還可以通過控製 Si 的摻(chān)入(rù) 量,沉積低(dī)應力的多層結構。這(zhè)種多層結構不但可 以沉積厚膜,而且還能延長腐蝕離(lí)子的擴散路徑,以增強其抗(kàng)腐蝕性(xìng)能。
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