納(nà)隆類(lèi)金剛石(shí)碳基塗層因其高的抗腐(fǔ)蝕性、化(huà)學惰性(xìng)、抗磨 損性和低(dī)的摩擦係數等優(yōu)異(yì)性(xìng)能,被廣泛用作保護塗層。通過向(xiàng) DLC 塗層中摻雜(zá) Si 元素不僅可以進一 步提高塗層的性(xìng)質,而且還可以通過控製 Si 的(de)摻入(rù) 量,沉積低應力(lì)的多層結構。這種多層結構不(bú)但可 以沉積厚膜,而且還能(néng)延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐蝕性能(néng)。