1、硬度及彈性模量。

類金剛石塗（tú）層（DLC），是一（yī）種四麵非晶體碳,其sp3鍵含量為（wéi）80%~90%，sp³與sp²鍵的比值較高，膜層內的成分對膜層的硬度有一定的影響， Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高（gāo）的彈性模量，雖低於金剛石（shí）（110GPa），但明顯高於一般（bān）金屬和（hé）陶瓷的彈性模量。

2、內應力和結合強度。

薄（báo）膜的內應（yīng）力（lì）和結合強度（dù）是決定薄膜的穩定性和使用壽命，影響薄（báo）膜性能的兩個重要因素，內應力高和結（jié）合強度低的DLC膜容易（yì）在應用中產生裂紋、褶皺，甚至脫落，所以製備（bèi）的DLC膜最好具有適中的壓應力和較高的結合強度。大部分研究表明，直接在（zài）基（jī）體上沉積的DLC膜的膜基結合（hé）強度一般比較低，通過采（cǎi）用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過渡（dù）層的方法提高DLC膜與基體的結合強度，在模具鋼上沉（chén）積DLC膜的（de）結合強度達44N-74N，製備的膜導總（zǒng）體厚度可達5um。

3、摩擦性能
DLC膜不僅具有優異的耐磨性，而且（qiě）具有很低的摩擦（cā）係（xì）數，一般（bān）低於（yú）0.05，是一種優異的表麵抗磨損改性膜。DLC膜與傳統（tǒng）的硬質薄（báo）膜相比，在摩擦係數（shù）方麵具有明顯優勢，這些傳統硬質薄膜的摩擦係數都（dōu）在0.4以上。因此，DLC膜有可（kě）能在（zài）許多摩擦學領域替代這些傳統硬膜（mó）。製備（bèi）的摻金屬DLC膜具有良好的抗摩擦磨（mó）損性能及低（dī）達0.13-0.15的摩擦係（xì）數。

像微型機械驅動器具有運動的部（bù）分，如微型發動機、齒輪、軸承，在運行過程中會經曆表麵的緊密接合。在微尺度下，粘性剪（jiǎn）切力特別高（gāo），所以液態潤滑劑不再是降低摩擦的（de）有效（xiào）途（tú）徑。以Si為（wéi）基礎的微型電動機、微型發動機僅能（néng）正常運（yùn）行幾分鍾接著就會因為摩擦而導致崩潰（kuì）。DLC塗層擁（yōng）有很低的摩擦（cā）係數並且磨（mó）耗率(每（měi）單位滑動距離的磨耗量)也很低，使它們成為MEMS設備理想的固態（tài）潤滑劑（jì）。實驗（yàn）階段的線性電動機，滑動件表麵覆蓋了5~15nm厚的DLC層，延長了部件的使用壽命（mìng）至(15~80）×106個周期。盡管大多數的MEMS馬達並不（bú）應（yīng）用於腐蝕（shí）性的空氣環境中，但它們（men）還是會通過物理吸附作用來接觸到外界腐（fǔ）蝕環境，這個過程（chéng）則會使材料的摩擦耐磨性能產生相當大的波動。四麵體非晶碳（tàn）膜（mó）(ta-C)在這方麵的表現比含氫非晶碳膜(a-C：H)優越，它們的摩擦係數在真空及幹（gàn）燥環境下較高，但卻在相當的範圍內表現得很穩定，即使在濕度增加的環境中也沒有顯著（zhe）增加。

4、耐腐蝕性
純DLC膜具有優異的耐蝕性，各類酸、堿甚至王水都很難（nán）侵蝕它。但摻雜有其（qí）他元素的DLC膜（mó）的耐蝕性有所下降，這是由於摻雜的元（yuán）素首先被侵蝕，從而破壞了膜的連續性（xìng）所致。