DLC類金剛石碳塗層,是一種SP3(金剛石結構)和(hé)SP2(石墨結構)或與氫、矽、氣和金屬等元素雜(zá)化的人工材料。DLC是碳(tàn)膜材料的統稱,它具有高硬度(dù)、耐腐蝕、低擦、絕緣等多種特性,其各異化的性能取決於結構(gòu)鍵(jiàn)的比例和配位鍵元素的種(zhǒng)類。
DLC具有部分金剛石的特性(xìng),比工業中使(shǐ)用的大多數(shù)金屬材料都要硬(yìng),是機械(xiè)設備中最常用的(de)自(zì)潤滑塗層,目前DLC類金剛石碳塗層有以下種類(lèi):
a-C=無氫非晶碳膜
a-C:H=含(hán)氫非(fēi)晶碳膜
ta-C=四(sì)麵體(tǐ)無氫非晶(jīng)碳膜
ta-C:H=四麵體含氫(qīng)非晶碳(tàn)膜
a-C:X=元素摻(chān)雜無氫非晶碳膜
DLC類金(jīn)剛石(shí)碳塗層(céng)通(tōng)常厚度為1-5微(wēi)米,DLC表麵硬(yìng)度一般在1800HV~2200HV之間。DLC類金剛石碳塗層裝飾鍍DLC在(zài)1微米以內;但接(jiē)近0.5微米時,DLC會出現炫彩,或者叫七(qī)彩DLC。不同的顏色以及不同的均(jun1)勻度,可以反映出DLC的膜厚。
DLC類金剛石碳塗層可以(yǐ)廣義理解為SP2和SP3鍵構成的雜化膜係,其中以石墨為靶材(cái),無氫無定形四麵體碳膜a-C,隨著SP3的含(hán)量增加,硬度顯(xiǎn)著增加甚至(zhì)到6000HV,但是(shì)膜厚因內應(yīng)力原因,通(tōng)常在0.3-0.5微米之間。但DLC是一個高度可定(dìng)製的膜係,可以通過改變膜的晶格結構、元素(sù)參雜和鍍膜工藝,實(shí)現不司屬(shǔ)性的碳膜,如8微米以上超厚DLC和超厚ta-C(硬度通常會(huì)降低到3500HV以下(xià))。
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