类金刚石DLC薄膜是以sp3、sp2键结合为主体，这（zhè）种结构使得DLC薄膜具有一系列优（yōu）良的物理化学性能，如红外波（bō）段（duàn）透明、硬度高、摩擦系数（shù）小、化学性能稳定、热膨胀系数小等，从而使该薄（báo）膜在（zài）光学、电（diàn）学、机械、医学等领域引（yǐn）起了科研工作者的广泛（fàn）关注。目前DLC涂层应用广泛，接下来给大家整理一下关（guān）于DLC涂层的应（yīng）用以及制作方式。

一、DLC薄膜的特性及应用 

     DLC薄膜的（de）特殊结构决定了这种薄膜材（cái）料具有优良的特性和广泛的应用，主要表现在:

1)较高的硬度和优异的（de）抗磨损性能，因而适合作为（wéi）硬质工具（jù）、轴承、刀具等表面，不仅可以延长工具的（de）寿命，而且还可以提高功效；

2)电阻率高(102Ω·cm~1014Ω·cm)、介电常数大、击穿电压高。利用这些特点（diǎn），可将它制成理想的超高频和微波波段的介（jiè）质材料；

3)高掺杂性。由于其带隙宽，有利于高集成化电子器（qì）件（jiàn）在高温条件下使用，因此该薄膜在半导体行业应用广泛；

4)高频、高音速特性良好。用DLC涂层制作的高频扬声器振动膜频带宽，其频率特性（xìng）高达60KHz，目前我（wǒ）司的音膜DLC涂层工艺已成熟并且量（liàng）产。

5)具有良好的（de）化学稳定性，耐腐蚀(防酸、碱、盐)性能好，不仅可作为（wéi）光学元件的（de）增透膜和保护膜，防止光学（xué）元件被飞砂擦伤或被酸（suān）、碱、盐溶液腐蚀，还应用于光盘保护膜（mó）、手表玻璃保护膜、眼镜片(玻璃、树脂)保护膜以及汽车挡风玻璃保护膜等；

6)热导（dǎo）率高，约为铜的6倍，热膨胀系数小，具有好的抗热冲击性能。

7)具有良好的生物相容性，在医学方面也有广泛的（de）应用。涂镀（dù）在人工关节上转（zhuǎn）动部（bù）位上的DLC薄膜不会因摩擦而产生磨损（sǔn），更不会与（yǔ）肌肉（ròu）发生反应、可大幅度（dù）延长（zhǎng）人工关节的使用寿命；

8)DLC薄膜在室温下光致发光和电（diàn）致发光率都很高，有（yǒu）可能在整个可（kě）见光范围发（fā）光，因此可以用作性能极佳（jiā）的发光材料之一。

二、DLC膜（mó）的（de）制备技（jì）术

　　自20世纪70年代人们制备出DLC薄膜以来，目前已经开发了许多种沉积方法（fǎ），但大体上可（kě）以分为物理气相（xiàng）沉积(PVD)和化（huà）学气（qì）相沉积(CVD)两大类。PVD方法是在真空下加热或离化蒸发材料(石墨)，使蒸发粒子沉积在基片表（biǎo）面形成薄膜的一（yī）种方法。按照加热方式不（bú）同，热蒸（zhēng）发有激光蒸发、电弧蒸发、电子束（shù）加热等方法。溅（jiàn）射沉积是用高能（néng）离子轰（hōng）击靶（bǎ）物质(石墨)，与靶表面原子发生弹性或非（fēi）弹性碰撞，结果部（bù）分靶表面原子或原子团溅射（shè）出来，沉积在基板上形成薄膜。CVD方法是在真空室内通入碳的氢化物、卤化物（wù）、氧化物，通过气体放电，在一定条件下促使它们发生分解、聚合、氧化、还原等化学反应过程，在基板（bǎn）上形成DLC薄膜的方（fāng）法。

a、制备DLC薄膜的 PVD 技术

1. 真空电弧离子（zǐ）镀
2. 脉（mò）冲激光沉积
3. 溅射制备法
4. 非平衡磁控溅（jiàn）射方法
5. 其他沉积方法

b、制备（bèi）DLC薄膜的CVD技术

1. 射频等离子体化学气相沉积
2. 直流等离（lí）子体（tǐ）化学气相沉积
3. 热丝法
4. 直接光化学气相沉（chén）积法
5. 电（diàn）子回旋共振（zhèn）(ECR)沉（chén）积法
6. 其他沉积方法