類金剛石(DLC)一以sp3和sp2 的形式其層結構是由碳的sp3和s2形態合而成的定型組織(沒有顯性的晶格結構)，塗層性能（néng）的好壞取決於形成（chéng）的膜層結構中s3和s2各自所（suǒ）占的百分比sp3所占的比率越高，膜（mó）層性能越接近天然金剛石，顯微硬（yìng）度越高（gāo）;sp2所占的比率越高膜層的自（zì）潤滑性能越好摩（mó）擦因數越小,但顯微硬（yìng）度會降低(它和金屬之間的摩擦（cā）因數的範圍一般是005-02)通過設定生產流程中的工藝參數和選擇（zé）不同（tóng）的靶材，可以控製最終成形（xíng）膜（mó）層的屬性來滿足不同場合的（de）需求。

DLC處理（lǐ）的工藝流程包括（kuò）所需處理工件基（jī）體的處理（lǐ）(拋光清洗)的（de）選擇成條件的設定、成形及成形後的檢測等。要想得到高品質的DLC塗層工件基（jī）體處理的好壞至關重要。將（jiāng）工件要（yào）拋光到（dào）小於（yú） Ra0.2m塗覆處理後（hòu）的（de）工件才可得到滿意的表麵質量（liàng）.

基體表麵處理不（bú）能留有死角（jiǎo），這關係到膜層（céng）是否能與基體牢固地結合。將要塗（tú）覆的（de）工（gōng）件還要（yào）充（chōng）分清洗。清洗工（gōng）藝取決於塗覆的（de）質量水平、母材和（hé）幾何形狀（zhuàng）。工件裝在設定的夾具上，夾具是在使腔體裝載尺寸最優化和保（bǎo）證（zhèng）塗覆（fù）均勻（yún）的基礎上設計的。

      在靶材(用於（yú）沉澱的固體金屬)上加載高電流（liú）低電壓電弧，金屬被燕發並且瞬間離子化，這些金屬離子在高能量的作用下通過惰性氣體（tǐ）或活性氣體進入腔體（tǐ）並沉（chén）澱（diàn）在工件上。在金（jīn）屬（shǔ）沉澱過程中蒸發了的金屬(靶材)保持不變（biàn）。在激活的澱過程中改變氣（qì）體的體（tǐ）積或種類將會改變膜（mó）層的性質，形成像碳化物、氮化物或氧化物的陶瓷。同樣通（tōng）過（guò）改變靶材的材質也可以產生不同的膜層（céng）。在塗覆完成（chéng）後，還需要對成形後工件的膜（mó）層質（zhì）量進行檢測，包括工件的光澤膜的厚度否均而且尺寸在控製範圍之內，以及膜（mó）層是（shì）否出現分層下載高清無水（shuǐ）印現象等。

       DLC(類（lèi）金剛石)塗層技術（shù）目前在衝切模具領域應用廣泛。DLC塗（tú）層的工業化生產（chǎn）開始於20世紀末，與應用於模具（jù）上的硬質塗層相比是一種新的層技術在半導體封裝、管腳切割和成形製造過程（chéng）中，高精度的模具是確保（bǎo）產品品質的關鍵。模具（jù）表（biǎo）麵質量又決定了產品優良率、生產效率和產品電學性能等。所以，應用於半導體封裝行業的模具不（bú）但要求高精度（dù），同時也要求模具刃口件向表麵低摩擦因數和高硬度的方向（xiàng）發展而運用（yòng）等離子體DLC塗層技術的塗層是這一問題的主要（yào）解（jiě）決方案。