一、DLC類金(jīn)剛石塗層工藝流程
1、工件基體處理。這一步是比較重(chóng)要的,將工件拋光到(dào)小於(yú)Ra0.2um,塗覆處理後(hòu)的工件才可得到滿意的表麵質量,這對成(chéng)形一些具有光學性能要求的零件是非常重要的,類似成形光學鏡頭和成形LED零件等。操(cāo)作的時候需要注意基體(tǐ)表(biǎo)麵處理不能留有死角(jiǎo),這影響到膜層是否能與(yǔ)基(jī)體牢固地結合。
2、充分清洗。將要塗覆的工件(jiàn)進行充分清洗,塗覆的母(mǔ)材、質量水(shuǐ)平和幾何(hé)形狀決定(dìng)了(le)清(qīng)洗的工藝。工件(jiàn)裝(zhuāng)在設定的夾具上,夾(jiá)具是在使腔體裝載尺寸優化和保證塗覆均勻的基礎上設計的。清洗方法為(wéi)真空室抽真空至10-6托(高真空)來排除係統中的任何汙(wū)染物,真空室中通入惰性氣體並使其離子(zǐ)化,導致產生輝光放電(diàn)(等離子體),這是氣體清洗階段使零件做好金屬沉澱準備。
3、金屬沉澱。在用於沉澱的(de)固體(tǐ)金屬上(shàng)(指靶材)加載高電流、低電壓電弧,金(jīn)屬被蒸發並且瞬間(jiān)離子化,屬離子在高能量(liàng)的(de)作用下通過惰性氣體或(huò)活(huó)性氣體進入腔體並沉澱在工件(jiàn)上。在(zài)金屬沉澱過(guò)程中蒸發了的金屬(靶材(cái))保持(chí)不變。在(zài)激活的沉澱過程(chéng)中,改(gǎi)變氣體的體積或種類將會改變膜層的性質,形成像碳(tàn)化物、氮化物或氧化物(wù)的陶(táo)瓷。同樣,通過改變靶材的材質也可以產生不同(tóng)的膜層。
塗覆完成(chéng)後,就要對成形工(gōng)件的膜層質量進行檢驗,檢測(cè)膜(mó)層厚度是否均勻、工件(jiàn)的光澤、膜層是否出現分(fèn)層及尺寸是否在控製範(fàn)圍內(nèi)。如果膜層出現問題、厚度超差、結合力不(bú)強等問題需要及(jí)時解決,下麵草莓视频APP在线观看來了解一下相應的(de)解決辦(bàn)法是什麽吧!
1、檢驗膜層均勻度
檢(jiǎn)驗成形後的膜層如(rú)果出(chū)現光澤不均勻、有花紋,應該是(shì)靶材的(de)材質的純淨(jìng)度不(bú)夠,雜質多就會(huì)導致(zhì)膜層不均勻。也可能是塗覆設備(bèi)的故障。
解決辦法:所以(yǐ)如果檢驗出了膜(mó)層的(de)問題可以先檢測設備是否故障,如果設備穩定正(zhèng)常的話則必須更換靶材。
2、檢驗(yàn)膜層厚度(dù)
檢驗膜層時如(rú)果發現厚(hòu)度超(chāo)差的情況,可能是處理時間過長或過短所導致(zhì)的。
解決辦法:在設備穩定正常的情況下,膜層的厚度都是取決於成形的工藝(yì)時間,所以如果出現膜層超差的情況隻要調整處理時間就(jiù)可以了。
3、檢驗結合力(lì)
檢驗膜層和工(gōng)件(jiàn)基體(tǐ)之(zhī)間的結(jié)合力,結合力不強會出現分層現象。導致這種問題的原因很多,比如工件清洗得不幹淨、不徹底,工(gōng)件的基體沒有拋光到工藝要求(qiú)或者存在缺陷,成形工藝參數不合理等。
解決(jué)辦法:如果出現這種情況的話需要一一(yī)排除(chú),找到真正的原因,從而解決基體與膜層分層的問題,有時需要在工件上預先塗覆一層金(jīn)屬來消除基體(tǐ)本身的缺陷。
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